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Vertical metal-dielectric-semiconductor diode on (001) -Ga₂O₃ with high- TiO₂ interlayer exhibiting reduced turn-on voltage and leakage current and improved breakdown

Nolan S. Hendricks,Esmat Farzana,Ahmad E. Islam,Kevin D. Leedy,Kyle J. Liddy,Jeremiah Williams,Daniel M. Dryden,Aaron M. Adams,James S. Speck,Kelson D. Chabak,Andrew J. Green

APPLIED PHYSICS EXPRESS（2023）

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关键词

metal–dielectric–semiconductor diode

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