The Application of Low Energy Ion Scattering Spectroscopy (LEIS) in Sub 28‐nm CMOS Technology

Kornelia Dittmar, Dina H. Triyoso,Elke Erben,Joachim Metzger,Robert Binder,Hidde H. Brongersma,Martin Weisheit, Hans‐Jürgen Engelmann

Surface and Interface Analysis（2017）

引用 0|浏览0

暂无评分

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要