铝铜薄膜铜元素含量标准物质研究

研制了一种X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质,使用电子探针对研制的铝铜薄膜铜元素含量标准物质进行均匀性、稳定性检验,使用电感耦合等离子体发射光谱仪(ICP-OES)对标准物质的铜元素含量(wt%)进行了定值,分析了名义值为 49.5%的铝铜薄膜标准物质铜元素含量的不确定度来源,评定了标准物质的不确定度.研究结果表明:标准物质样品具有良好的均匀性和稳定性,标准物质的铜元素含量标准值为49.46 wt%,扩展不确定度为 0.98 wt%(k=2).研制的X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质,满足了X射线能谱仪/波谱仪定量分析过程中的校准需求,填补了X射线能谱仪/波谱仪校准用标准物质的国内空白,为我国科研产业的铜元素含量定量分析提供了量值保障和技术支撑.