高精度X射线柱面弯晶检测方法
Infrared and Laser Engineering（2022）
摘要
以实验室中的X射线管作为光源,配合CMOS探测器涂层闪烁体纤维面板实时在线记录设备,建立了柱面弯晶检测平台.通过高精度的同轴转台设计,将整个柱面弯晶曲面转换为多个线段区间来分别进行检测,并对光路排布以及谱线的位置移动进行了解析计算.选用铁靶材X射线管(Kα特征谱线波长为0.193 6 nm)作为实验光源,曲率半径120 mm的石英柱面弯晶作为样品,实验获得了清晰的铁特征谱线(Fe-Kα和Fe-Kβ).通过分析柱面弯晶上9个采样位置的图像,发现Fe-Kα谱线位置移动了 96 μm,对应的半径偏差为40μm,AR/R为0.033％.经过检测的石英柱面弯晶已经在大型激光装置上应用,并获得高质量的光谱图像,证明了该实验方法对柱面弯晶品质检测的有效性.
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