Titanium Oxynitride Thin Films Wide Temperature Range SensorsBaron F. A.,Shanidze L. V., Rautskiy M. V.,Mikhlin Yu. L.,Lukyanenko A. V., Konovalov S. O.,Zelenov F. V.,Shvets P. V.,Goikhman A. Yu.,Volkov N. V.,Tarasov A. S.Pisʹma v Žurnal tehničeskoj fiziki(2022)引用 0|浏览11暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要