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Superconducting NbN-Al Hybrid Technology for Quantum Devices

E. Mutsenik,S. Linzen,E. Il'ichev,M. Schmelz, M. Ziegler, V. Ripka, B. Steinbach,G. Oelsner,U. Huebner,R. Stolz

Low temperature physics（2023）

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关键词
niobium nitride thin films,superconducting devices,Josephson junction,atomic layer deposition
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