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The role of silanol groups on the reaction of SiO2 and anhydrous hydrogen fluoride gas

Yoshitaka Ono,Sho Nagai,Yasuo Hayashi,Shu-hei Urashima,Hiroharu Yui

JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY（2023）

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关键词
etchants,etching,silica,surface modification
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