A Study of Al2O3/MgO Composite Films Deposited by FCVA for Thin-Film Encapsulation

Heng Yuan,Yifan Zhang,Qian Li,Weiqing Yan,Xu Zhang,Xiao Ouyang,Xiaoping Ouyang,Lin Chen,Bin Liao

Materials（2023）

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关键词

FCVA,Al2O3,MgO,thin-film encapsulation

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