压电材料驱动的微型回热式制冷机研究进展
wf（2022）
摘要
在介绍现有高集成度电子器件高效散热需求的基础上,分析了压电材料驱动的回热式制冷机的结构形式、工作性能与技术特点,重点总结了微型斯特林制冷机的研究进展.相比于传统电子器件的集中式散热冷却,采用压电薄膜驱动的微型斯特林制冷机可实现较高的制冷密度,并具有环境友好、可靠性高和制冷温区广等优点,使得该技术在电子器件中芯片的精准高效冷却领域具有较大潜力,但需要从高频微尺度交变流动高效传热机理,微结构回热器优化和超高频大压比驱动源等方面进行更深入的研究.
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