双环射频等离子体射流曲面沉积锐钛矿二氧化钛薄膜

Journal of Donghua University(Natural Science Edition)(2021)

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摘要
基于常压双环射频等离子体射流装置,在紫外灯泡的曲面上沉积锐钛矿二氧化钛(TiO2)薄膜.采用发射光谱仪、场发射扫描电子显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见光谱仪对TiO2薄膜的结构与性能进行表征;分别进行紫外灯泡上有无TiO2薄膜以及有无紫外灯照射的对比试验,利用紫外-可见光谱仪测定亚甲基蓝溶液的吸光度以评价TiO2薄膜的光催化活性.结果表明:沉积过程中放电区域生成多种活性粒子;TiO2薄膜表面的颗粒呈花椰菜形貌且分散均匀,晶型为锐钛矿相;在可见光区薄膜透射率略有降低,而在紫外光区呈现TiO2特有的强吸收现象;沉积有TiO2薄膜的紫外灯泡在外加光源的照射下对亚甲基蓝溶液展现出良好的降解效果,打开紫外灯光源后可进一步提高降解效率.这种内外光源协同作用的方法可有效解决高浓度污染液体中外加光源被阻隔的问题,并提升降解效率.
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