计算电容屏蔽电极位移测量的不确定度评估
Acta Metrologica Sinica（2022）
摘要
计算电容是电学阻抗单位复现的基准装置,是电容、电感和交流电阻的溯源依据.它是电磁计量领域内除量子电压、量子电阻基准之外准确度最高的装置.计算电容装置实现微小电容值(0.2至0.6 pF)精确测量的关键在于对其屏蔽电极位移的高准确度测量.从计算电容屏蔽电极位移测量的基本原理出发,系统分析了屏蔽电极位移测量结果的影响因素,具体包含Fabry-Perot干涉仪的锁定、稳频激光波长的实时校准、残余气体折射率影响、测量余弦误差以及Gouy相位修正,结合计算电容测量结果的复现性,得到屏蔽电极位移测量的相对标准不确定度为4.7×10-9.
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