基于有限元分层级联技术SAW滤波器精确计算

CHEN Zhenglin,ZHAO Xuemei,HE Yi,PAN Hongzhi,BAI Tao,DU Xuesong,LI Hualin,XIAO Qiang,CHEN Yanguang,MA Jinyi

Piezoelectrics & Acoustooptics（2022）

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摘要

针对任意复杂结构声表面波(SAW)器件精确快速分析及其内部多物理场耦合效应的精确表征问题,该文在充分考虑SAW器件实际存在的各种影响因素下,采用有限元分层级联算法推导出有限长结构SAW器件的有限元数学模型.基于全波仿真技术,考虑管座及键合线等封装模型电磁效应,对漏波型42°Y-X LiTaO3温度补偿型声表面波(TC-SAW)器件进行计算,通过与实验结果对比,验证了计算模型的精确性,为高性能SAW器件的精确快速设计提供了支撑.

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