谷歌浏览器插件

订阅小程序

在清言上使用

立即登录

学术主页个人账号

我的关注论文收藏浏览历史

Hydrogen Microwave Plasma Etching of Silicon Dioxide at High Temperatures with in Situ Low-Coherence Interferometry Control

A. P. Bolshakov,A. S. Altakhov,I. A. Fedorova,E. V. Zavedeev,V. G. Ralchenko,V. Yu Yurov,A. F. Popovich

Vacuum（2022）

引用 2|浏览1

暂无评分

关键词

Silica,Microwave plasma,Etching,Hydrogen,Optical emission spectroscopy

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要