Silisyum İnce Filmlerde Taban Malzemelerin Elektronik Kusurlar Üzerine Etkisinin Belirlenmesi
Süleyman Demirel Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi（2022）
Key words
silisyum ince film,pecvd,elektronik kusurlar,taban malzeme etkisi,silicon thin film,pecvd,electronic defects,substrate effect
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined