密封空洞を有するMEMS静電容量型圧力センサの高速解析的設計【Powered by NICT】Veronique Rochus, B. Wang,Tilmans H.A.C.,A. Ray Chaudhuri,P. Helin,S Severi,Xavier RottenbergMechatronics(2016)引用 0|浏览2暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要