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钛基复合材料的离子抛光工艺适用性研究

Journal of Chinese Electron Microscopy Society(2021)

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摘要
金属基复合材料的制样难点在于基体和增强相物理性能差异大,采用机械-化学抛光、电解抛光等传统方法制样效率较低.离子抛光的制样优势在于可通过程序控制,实现对复合材料的整体加工,减小界面浮凸,从而提高制样效率.作者在前期研究中得到了最佳离子抛光工艺参数,将此系列参数应用于不同增强相含量钛基复合材料的扫描电镜制样中,对比观察微观形貌、硬度和晶粒取向分布图.实验表明,采用此工艺参数得到的SEM电子背散射衍射、EBSD分析结果标定率高,可应用于此种类钛基复合材料的扫描电镜样品制备中,验证了离子抛光工艺参数的适用性.
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