In-situ atomic visualization of structural transformation in Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric thin film: from nonpolar tetragonal phase to polar orthorhombic phase

y zheng,c zhong,y zheng,z gao, y cheng,q zhong, c liu,y wang

2021 Symposium on VLSI Technology（2021）

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关键词

Ferroelectric,HZO film,in-situ TEM,phase transition

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