谷歌浏览器插件
订阅小程序
在清言上使用
VIPCreated with Sketch.

Large Aperture Mems Mirror With Integrated Piezoelectric Actuator

Yufeng Wang,Gary Li,Qin Zhou,Sergio F. M. Almeida,Sae Won Lee,Youmin Wang

MOEMS AND MINIATURIZED SYSTEMS XX（2021）

引用 0|浏览2
暂无评分
关键词
MEMS, mirror, piezoelectric, PZT, aperture
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要