高功率脉冲磁控溅射复合电源及其电弧特性研究Yan-bin HE,Tao XIONG,Ya-nan JIANG,Min-jiu LIVacuum（2018）引用 0|浏览4暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
