EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究

Ke-jia ZHANG,Bi-feng ZHANG,Li-min XIONG,Tao-geng ZHOU,Jun-chao ZHANG,Hai-feng MENG,Chuan CAI,Ying-wei HE,Xiao-hui LI,Chang-shi WANG

Acta Metrologica Sinica（2018）

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摘要

基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置.分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程.提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作.基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好.

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