磁控溅射Nb掺杂TiO2薄膜的研究
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2018）
摘要
用射频/直流溅射法研制了铌掺杂TiO2透明导电薄膜.实验结果表明:Nb以正五价态掺入TiO2品格中,随着Nb掺杂量的逐渐增加,薄膜的电阻率出现先降后升的变化,在掺杂溅射功率为40 W时,薄膜电阻率降至7.3×10-4Ω·cm,可见光透过率高达86％以上.并且,Nb掺杂使TiO2薄膜的吸收限产生了蓝移,随着Nb掺杂量的增加,薄膜蓝移程度逐渐增大,说明该TiO2薄膜为n型掺杂.研究认为,控制Nb掺杂量达最佳时,使晶格中产生较多的载流子,以及良好晶体结构产生较大的载流子迁移率,能使Nb掺杂TiO2透明导电薄膜的性能参数得到有效改善.
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