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硅晶片双面研磨机的单电机驱动机构设计

Hongbo Xie,Jinqiang Huang,Jun Liu,Shaohui Lai

Metallurgical Collections（2019）

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摘要
文章介绍了硅晶片双面研磨机及其工艺,指出研磨机构采用多电机驱动的不足,设计了单电机驱动机构,以及相应的硬件和软件系统,通过分析试验,结果良好.
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