多晶硅铸锭炉的三维热场分析
Foundry Technology（2016）
摘要
以GT Solar公司DSSTM450型多晶硅铸锭炉为例,建立了铸锭炉热场的三维热学模型,由此计算并获得了炉内的三维热场分布,发现热场呈三维分布,而不是简单的二维轴对称分布;比较了4种不同功率分配方案的热场分布,发现提高顶部加热器的功率配比对温度不均匀性有一定的改善,但却会使加热效率大大下降;对冷却板内的温度分布也进行了数值模拟,发现支撑柱对热场有重要影响.
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