K波段BAW器件技术研究

Piezoelectrics & Acoustooptics（2018）

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摘要

通过优化高频换能器设计、极薄压电薄膜制备等技术,试制出了K 波段BAW延迟线样品.其工作中心频率为23.8 GHz,插入损耗为51.9 dB,带宽为1 122 MHz,延迟时间为299 ns,直通抑制为29 dB,3 次渡越抑制为40 dB.

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