太赫兹硅基微环谐振器的设计与分析

设计了一个工作频率在太赫兹大气传输第一窗口的硅基波导型微环谐振器。利用传输矩阵法和耦合模理论计算微环谐振器的传输函数，并对波导耦合系数进行分析，获得微环谐振器的临界耦合条件。采用时域有限差分法分析微环谐振器的性能参数，并与串联双环谐振器性能参数相比较。结果表明：单环谐振器的自由谱宽范围为27 GHz，插入损耗为0.3 dB。单环与双环谐振器的响应谱线形状因子分别为0.16和0.52，即串联双环谐振器使谐振谱线顶端更平坦，滚降度增高。