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Unmasking the Resolution-Throughput Tradespace of Focused-Ion-beam Machining

Andrew C. Madison,John S. Villarrubia,Kuo-Tang Liao,Craig R. Copeland,Joshua Schumacher,Kerry Siebein,B. Robert Ilic,J. Alexander Liddle,Samuel M. Stavis

Advanced functional materials（2022）

引用 1|浏览55

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关键词

chromium oxide,focused ion beam,sacrificial masking,super-resolution

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