基于连续激光的纳米结构研制

基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构.介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统,以及利用该系统研制的复合纳米结构.当光源为532 nm连续激光输出时,与正性光刻胶作用,得到直径＜50 nm的纳米柱复合结构,以及整齐均匀的纳米柱阵列结构;与负性光刻胶作用,得到直径＜100 nm的纳米通道,以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列.当光源为405 nm连续光纤激光时,与正性光刻胶作用,也得到了直径小至153 nm的纳米柱复合结构及其阵列.这些纳米结构的基本单元尺寸都突破了光学“阿贝衍射极限”的限制,具有实用潜力.