Unusual Stoichiometry Control in the Atomic Layer Deposition of Manganese Borate Films from Manganese Bis(Tris(Pyrazolyl)Borate) and Ozone

Joseph P. Klesko,James A. Bellow,Mark J. Saly,Charles H. Winter, Jaakko Julin,Timo Sajavaara

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A（2016）

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