Extraction of parasitic and channel resistance components in FinFETs using TCAD tools

Sudarshan Narayanan,Edmund Banghart,Peter Zeitzoff,Konstantin Korablev,Shesh Mani Pandey,Amaury Gendron-Hansen,Francis Benistant

Solid-State Electronics（2016）

引用 9|浏览156

暂无评分

关键词

Parasitic resistance,FinFET

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要