叉指式微硅加速度计的参数化设计刘宗林,吴学忠,李圣怡Micronanoelectronic Technology(2003)引用 23|浏览0暂无评分关键词comb-driving,micro-siliconAI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要