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Large O 2 Cluster Ions as Sputter Beam for ToF-SIMS Depth Profiling of Alkali Metals in Thin SiO 2 Films.

Sabine Holzer,Stefan Krivec,Sven Kayser,Julia Zakel,Herbert Hutter

ANALYTICAL CHEMISTRY（2017）

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关键词
Secondary Ion Mass Spectrometry
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样例
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