Depth profiling investigation by pARXPS and MEIS of advanced transistor technology gate stack
Microelectronic Engineering（2017）
关键词
Depth profiling,pARXPS,MEIS,HfON,SiON,HKMG
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要
Microelectronic Engineering（2017）