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Characterization of the Cooling Liquid after the Machining of Si and Sio2

Ljiljana Pedisic,Lidija Curkovic,Gordana Matijasic,Milan Sladojevic

Transactions of FAMENA（2011）

引用 23|浏览2
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关键词
synthetic liquid,coarse and fine grinding,single-crystal Si,fused SiO2
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