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G1601-1-1 マイクロピンセットにおける把持面のICPエッチング加工条件と摩擦特性(センサ・アクチュエータ)

郷充 今井, 唯史 石川,正和 佐藤, 弘輝 佐藤,啓輔 田村

mag（2009）

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关键词
surface roughness,friction
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样例
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