30p-YE-2 RFプラズマCVD法によるMTSからのシリコンカーバイド膜生成過程の発光分光聰 金子,宣明 宮川,逸人 曾根,弘祥 山崎,大輔 山田mag(1998)引用 23|浏览0暂无评分AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要