Simplified "Litho-Cluster-only" Solution for Double Patterning

H. Tanaka,K. Hoshiko, T. Shimokawa, H. F. Hoefnagels, D. E. Keller, S. Wang, O. Tanriseven,R. Maas,J. Mallmann, K. Shigemori,C. Rosslee

Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE（2010）

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