Активацияp-типа Проводимости В Пленках ZnO:N При Отжиге В Атомарном Кислороде

Эпитаксиальные пленки ZnO:N синтезированы методом реактивного магнетронного распыления. Влияние отжига в атомарном кислороде на структурные и электрофизические свойства пленок ZnO:N исследовано методами рентгеновской дифракции, атомной силовой микроскопии, эффекта Холла и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. При отжиге в интервале температур 500–700°C получены пленки ZnO:N p-типа проводимости c удельным сопротивлением 57 Ом см, подвижностью дырок 2.7 см2 с) и их концентрацией 6.8 ? 1017 см-3. Исходя из результатов рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, можно заключить, что р-тип проводимости связан с уменьшением концентрации донорных дефектов – (N2)O и VO.