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Channel Strain Evolution of Recessed Source/Drain Si1-xCx Structures by Modifying Scaling Factors

S. -W. Kim,D. -S. Byeon,M. Jung,D. -H. Ko,S. Chopra,Y. Kim,H. -J. Lee

ECS transactions（2013）

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关键词
Nanoparticle Enhanced Absorption
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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