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Patterning-induced Strain Relief in Single Lithographic SiGe Nanostructures Studied by Nanobeam X-Ray Diffraction

D. Chrastina,G. M. Vanacore,M. Bollani,P. Boye,S. Schoeder,M. Burghammer,R. Sordan,G. Isella,M. Zani,A. Tagliaferri

Nanotechnology（2012）

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关键词

Nanotribology

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