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Multilayer Mirrors Used for the Moon-Based Euv Imager

Liu Zhen,Gao Jin-song,Chen Bo,Wang Tong-tong,Wang Xiao-yi,Shen Zhen-feng, Chen Hong

SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS（2013）

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关键词
EUV,Multilayer mirror,Magnetron sputtering,Reflectivity,Plasmasphere
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