一种半导体玻璃及其制作的体导电微通道板的特性表征
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology（2012）
摘要
将微通道阵列移植到体导电基体可使微通道板(Microchannel Plate,MCP)免受离子反馈难题的困绕,而半导体玻璃可在不改变MCP的传统制作方法的基础上制作体导电MCP.一种特定组分的钒铁铅铝磷酸盐的半导体玻璃,采用与传统的还原铅硅酸盐玻璃MCP完全相同的制作方法,但不经过氢还原处理,制作成通道间距为12 μm的25mm直径的无实体边的MCP样品,这种半导体玻璃制作的MCP样品,在加载1kV的恒稳态电压下,有稳定的微安级的传导电流和102量级的电流增益.本文对这种钒铁铅铝磷酸盐的半导体玻璃及其制作的体导电MCP样品的基本性能和表现进行了表征和分析,并讨论了进一步改进措施.
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关键词
Bulk conductive MCP,Ion feedback,Microchannel plate,Semiconductive glass
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