多波长激光刻蚀多晶硅工艺参数优化
Applied Laser（2013）
摘要
多晶硅的制造工艺日趋成熟,成本不断降低,在太阳能电池的制造中应用越来越广泛;激光加工技术效率高、消耗低,在太阳能电池制造领域起着举足轻重的作用.为了探究激光参数对多晶硅加工效果的影响,在正交试验方法的基础上,运用激光在多晶硅片表面进行单点多脉冲打孔的实验方法,通过光学显微镜和三维形貌仪等设备对实验结果进行观察分析,建立了工艺参数与激光钻孔实验结果的关系,并优化了激光冲击多晶硅片的参数,分析了孔周围的热影响区.由实验得到以下参数:激光波长为532 nm,能量120 mJ,光斑直径0.5 mm,作用时间45 s时,在该条件下可得到最佳的孔径.
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关键词
poly silicon,laser,process parameters,drilling
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