Interface Engineering for the TaN/Ta Barrier Film Deposition Process to Control Ta-crystal Growth

Lukas Gerlich,Susanne Ohsiek,Christoph Klein, Mario Geiss,Michael Friedemann,Peter Kuecher, Dieter Schmeisser

Microelectronic Engineering（2013）

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关键词

Tantalum,in situ XPS,Ta-phase,TaNx,Barrier,Interface

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