基本信息
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职业迁徙
个人简介
1999年清华大学本科毕业,2002年中国科学院半导体所硕士毕业,2005年美国University of South Carolina大学博士毕业,并从事博士后工作。2006年任职美国硅谷应用材料公司Applied Material, Inc,任资深关键客户技术师。 2011年,加入中科院苏州纳米所,受聘为研究员、博士生导师。
美国University of South Carolina宽带隙半导体组是世界顶尖的研究SiC和GaN材料和器件的实验室。该实验室的SiC研究曾经得到经费支持累计约1800万美元。在该组攻读博士和博士后期间,主要从事SiC外延CVD设备的研制,工艺开发,位错分析及器件测试。在期刊和国际会议文集上发表第一作者论文十余篇,其中4篇发表在Appl. Phys. Lett.上。
应用材料公司是全球最大的半导体设备和太阳能设备提供商。在应用材料任职期间,曽为多名关键客户,包括德国原AMD, 新加坡特许半导体,IBM, 台湾南亚,华亚,华邦,力晶、瑞晶,奇梦达,美光,台积电等提供大规模集成电路制造用设备和工艺技术。曾经负责过的设备产品包括MOCVD, CVD, PVD, ALD, PEALD, Preclean等。
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Journal of Soil and Water Conservationno. 1 (2016): 58-61,126
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