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Combining Full Wafer Inspection with Deep Learning to Recognize Wafers with Critical Defects
Sabrina Anger, Anil Bora Yayak,Georg Roeder,Martin Schellenberger, Tamas Sipőcz,Thomas Alcaire,Delphine Le Cunff, Máté Nagy
2023 34th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)pp.1-6, (2023)
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Full Wafer Process Control Through Object Detection Using Region-Based Convolutional Neural Networks
Thomas Alcaire, Delphine Le Cunff,Jean-Herve Tortai,Sebastien Soulan, Virginie Brouzet,Romain Duru, Christophe Euvrard
2022 33rd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)pp.1-5, (2022)
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Detection and Correlation of Yield Loss Induced by Color Resist Deposition Deviation with a Deep Learning Approach Applied to Optical Acquisitions
Thomas Alcaire,Delphine Le Cunff,Jean-Hervé Tortai,Sebastien Soulan,Victor Gredy, Maxime Templier, Mehdi Kessar, Raffaele Bianchini, Audrey Berthoud
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV (2021)
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