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Kinetic Simulations of Low Temperature Plasmas Used for Plasma Processing
Thomas G. Jenkins,Daniel Main, Eve Lanham,Scott E. Kruger,John R. Cary
ADVANCED ETCH TECHNOLOGY AND PROCESS INTEGRATION FOR NANOPATTERNING XIII (2024)
引用0浏览0引用
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Comparing Momentum-Conserving and Energy-Conserving Electrostatic Particle-In-Cell Schemes in VSim
D. Main, L. C. Adams,J. R. Cary,T. G. Jenkins,G. R. Werner
2023 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS)pp.1-1, (2023)
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Kinetic Dispersion Relations and the Speed-Limited Particle-in-Cell Algorithm*
Thomas G. Jenkins,Gregory R. Werner,John R. Cary
2020 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS) (2020)
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