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Kinetic Simulations of Low Temperature Plasmas Used for Plasma Processing
Thomas G. Jenkins,Daniel Main, Eve Lanham,Scott E. Kruger,John R. Cary
ADVANCED ETCH TECHNOLOGY AND PROCESS INTEGRATION FOR NANOPATTERNING XIII (2024)
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Comparing Momentum-Conserving and Energy-Conserving Electrostatic Particle-In-Cell Schemes in VSim
D. Main, L. C. Adams,J. R. Cary,T. G. Jenkins,G. R. Werner
2023 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS)pp.1-1, (2023)
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Kinetic Dispersion Relations and the Speed-Limited Particle-in-Cell Algorithm*
Thomas G. Jenkins,Gregory R. Werner,John R. Cary
2020 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS) (2020)
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