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MEMS MATERIALS AND PROCESSES HANDBOOKpp.1045-1181, (2011)
D. Hollocher,X. Zhang,A. Sparks,S. Bart, W. Sawyer, P. Narayanasamy, C. Pipitone, J. Memishian,H. Samuels, S-L. Ng, R. Mhatre, D. Whitley,F. Sammoura,M. Bhagavat, C. Tsau,K. Nunan,M. Judy, M. Farrington, K. Yang
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