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Realization of CMOS Operation in 3-Dimensional Stacked FET with Self-Aligned Direct Backside Contact
Juhun Park,Jaehyun Park, Jejune Park, Kyuman Hwang, Jinchan Yun, Dahye Kim, Sungil Park, Jinwook Yang, Jae Won Jeong, Chuljin Yun, Jinho Bae, Daihong Huh, Deukho Yeon,Sanghyeon Kim, Seungeun Baek,Soomin Son, Junghan Lee, Tae-sun Kim, Seungjun Lee, Sun-Jung Lee, Sang Wuk Park,Bong Jin Kuh,Daewon Ha, Sangjin Hyun,Su Jin Ahn,Jaihyuk Song
Japanese Journal of Applied Physics (2024)
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