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引用3浏览0引用
3
0
MICROELECTRONICS TECHNOLOGY: POLYMERS FOR ADVANCED IMAGING AND PACKAGING (1995): 4-20
引用2浏览0引用
2
0
C Mertesdorf,N Munzel,H Holzwarth,P Falcigno,Ht Schacht, O Rohde,R Schulz,Sg Slater, D Frey,O Nalamasu,Ag Timko,Tx Neenan
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XII (1995): 84-98
MICROELECTRONICS TECHNOLOGY: POLYMERS FOR ADVANCED IMAGING AND PACKAGING (1995): 35-55
N MUNZEL,H HOLZWARTH,P FALCIGNO,HT SCHACHT, R SCHULZ,O NALAMASU,AG TIMKO,E REICHMANIS, J KOMETANI, DR STONE,TX NEENAN,SG SLATER, MD FREY,A BLAKENEY
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (1994)
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XI (1994): 98-110
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#Papers: 8
#Citation: 56
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